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更新时间:2026-02-05 12:56:48
从粒子加速器的微观碰撞到核聚变装置的能量探索,从太空模拟的星际复刻到天体物理的宇宙溯源——每一项前沿科学的突破,都建立在极致精准、稳定可靠的真空环境之上。
作为深耕真空领域数十年的全球领导者,英福康(INFICON)以其尖端的真空传感与控制、超高灵敏度检漏、精密残余气体分析及原子层沉积涂层技术,为全球科研与学术领域提供关键支撑,是科学家在“大科学”项目与实验室研究中探索未知的关键伙伴。
本文将系统梳理英福康四大核心解决方案,并清晰展示它们在不同精密仪器领域的实际应用,助您一眼看懂:何为“真空利器”,何以“探索未知”。
真空环境的稳定与精准测量,是科研实验的基础前提。英福康打造了全方位的真空测量解决方案,既能满足工业与实验室的常规需求,更能应对超高真空(UHV)、高温烘烤、强辐射、强磁场等极端条件,做到最小杂散干扰。
精准测量专家:电容薄膜线D)实现直接压力测量,兼具卓越精度、稳定性与气体类型无关性,数据可靠无偏差;
宽域测量王者:依托多元测量原理与模块化传感器设计,可覆盖从 10 毫巴到大气压的 15 个压力量级,全场景无死角监测;
智能控制器:自主研发的有源 / 无源真空计控制器,搭载 PROFINET、PROFIBUS 等最新工业通信协议,控制逻辑先进,适配各类系统;
高品质组件:高真空 / 超高真空接头、馈通件与观察窗,均符合国际顶级质量标准,达到超高真空洁净度等级,保障系统整体性能。
其中,被动传感技术的标杆之作 ——VGC094 无源真空计控制器,更是 “大科学” 领域的全球公认之选。
它兼容 PSG01x 皮拉尼线 冷阴极真空计等多款英福康无源线; 毫巴至大气压的全范围真空监测,即便在长距离操作、高温或强电离辐射环境下,也能稳定发挥。
在超洁净真空系统中,精准识别并量化气体种类是科研实验的关键。英福康的残余气体分析技术,凭借四极杆质谱仪(QMS)的分压测量能力,成为大型仪器与实验室真空系统的必备技术。
实时动态追踪:最快 1.8 毫秒 / 点的采样分析速度,能精准捕捉特定气体的分布与变化,为下一代核聚变反应堆等设备的运行提供关键数据;
全压域杂质管控:Transpector CPX可在大气压下工作,轻松检测意外气体侵入或材料释放的气体(如热脱气、光子诱发脱气等);
痕量精准量化:精度可达十亿分之一(ppb)级,支持循环过程中多种气体的分压量化与控制,适配低温真空系统、核聚变装置等场景。
作为行业标杆的Transpector MPH,曾随任务登上月球,凭借领先的数据采集速度、超低检测下限与卓越信噪比,成为优化实验条件、提升数据准确性的核心工具。
新一代 QMG 800 质谱仪则传承 QMA 400 系列的稳健设计,新增主流通信协议与 FabGuard 兼容性,五种离子源可选,灵敏度直达单离子检测级别,测量速度高达 125 微秒 / 原子质量单位,是超洁净真空系统质控的理想之选。
对于大型科研设备而言,真空完整性直接决定实验成败。英福康的检漏解决方案,能精准定位微小泄漏,减少停机时间,保障设备持续稳定运行,即便面对 4 层楼高的复杂真空系统也游刃有余。
超大抽速加持:UL3000、UL6000 Fab 系列检漏仪,具备超高氦气压缩比与抽速,兼顾高灵敏度与快速响应;
ICAL(智能校准算法)省时型软件算法,可将噪声降至最低,同时不遗漏最微弱的真实信号峰值等细节。
IZERO 2.0(智能零点抑制 2.0)能在极短时间内降低氦气背景值,即便最微小的泄漏也能实现可靠检测。
MASSIVE MODE(常压检漏模式)支持在大气压下直接启动检漏,通过喷雾法既能检测微小泄漏,也能识别大型泄漏。
HYDROS(水汽过滤功能)消除信号中的水分干扰,帮助检测初期快速达到低背景状态。
ICHECK(环境氦气检测)实时测量环境中的氦气浓度,确保检测全程处于最优测量条件。
IRISE(集成压力升速测量)将设备内置的压力升高速率测量与氦气喷雾法相结合,同步获取泄漏与压力变化数据。
多元示踪选择:除氦气外,还提供多款氢气检漏仪,应对氦气稀缺与成本上涨问题。
SMART-Spray 便携式氦气喷枪,无需大型气瓶与冗长软管,简化操作、减少误差,节省氦气消耗。
RC1000 远程控制器支持有线 / 无线连接,全程清晰显示检测状态,操作更便捷。
UL3000 Fab 系列:搭载 HYDROS 功能,可在水汽背景下快速启动检漏,一体化低维护罗茨前级泵设计,机身纤细易操作,拥有更低总拥有成本;
UL6000 Fab 系列:灵敏度与响应速度行业领先,增压涡轮分子泵适配超大体积场景,多重自保护功能避免冲击放气与污染,树立精准检漏新标杆。
科研设备的核心组件,往往需要抵御苛刻化学环境。英福康 xParts 通过原子层沉积(ALD)技术,为 3D 组件提供功能化亚纳米表面涂层,覆盖标准接头或客户定制三维零件。
超低污染特性,粒子含量极低,降低缺陷率,缩短预防性维护后的恢复时间,为科研设备的稳定运行筑牢基础。
无论是粒子加速器、核聚变装置等“大科学”项目,还是实验室的基础研究,英福康始终以创新技术为科研界保驾护航。如果您正面临科研中的真空测量、检漏、气体分析等挑战,欢迎与我们携手,用创新技术突破探索边界,解锁更多宇宙奥秘!
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随着环保法规日益严格,越来越多暖通空调与汽车制造商开始采用乙烷、丙烷(R290)和异丁烷(R600a)等低全球升温潜能值(GWP)的碳氢化合物制冷剂。这些绿色替代品虽环保,却也带来了一项不容忽视的挑战——易燃性。
“在中国,为中国”—— 这六个字,不仅是英福康深耕中国市场的战略宣言,更是这家总部位于瑞士精密仪器巨头扎根上海、服务全国二十载的行动纲领。
精准控制蚀刻工艺,INFICON残余气体分析仪助力半导体制造精准又高效
半导体制造是技术创新的核心,推动着电子、计算与通信领域的飞速发展。随着设备功能越来越强、体积越来越小,行业不断挑战着微型化的极限,尤其是在纳米级高密度芯片的制造中,蚀刻工艺的精度与控制变得尤为关键。